ナノめっき研究所 (NANO PLATING LABORATORY)
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•表面技術 2025年76巻 12号 p.570-576.
「無電解めっきによる微細配線応用に向けたRu膜の形成と評価」、 関西大学システム理工学部 新宮原正三
•表面技術 2024年(75巻) 11号p.478-482
「3次元実装TSVに向けた無電解めっきバリア膜形成とその上の直接無電解Cuめっき」、
関西大学システム理工学部 新宮原正三
•表面技術 2022年3月 「シリコン基板湿式エッチング及びAl陽極酸化を用いた微細構造形成」
関西大学システム理工学部、 清水智弘、新宮原正三
•めっき技術 2-1 2019年
「無電解銅めっき及びCo合金バリア膜を用いた微細ホールへの電極形成技術」、関西大学システム理工学部 新宮原正三
・技術情報協会 研究開発リーダー 10巻5号、p.4-8 (2013年)
「ナノホールテンプレートを用いた半導体及び金属ナノワイヤの作成と応用」 新宮原正三
・精密工学会誌 80巻5号(2014年)p.439-442.
「自己組織化アルミナ・ナノホール配列の形成と垂直配列シリコンナノワイヤの形成」 関西大学、清水智弘、新宮原正三
•電子情報通信学会誌(2011年)J94-C巻, no.11, pp. 386-393
「金ナノ粒子触媒を用いた無電解バリア/シード層のCu-TSVへの応用」 、関西大学 新宮原正三
•表面技術誌58巻8号450-454. (2007年)
「無電解銅めっきによる微細ホールのボトムアップ堆積」、関西大学 新宮原正三
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